一：工作原理

全氟醚O形圈ORW是为特殊应用所定制的,它的工作原理同一般O形圈，可对两个方向起密封作用。全氟醚橡胶具有极其稳定的抵抗高温及化学药品侵蚀的结构，既具有聚四氟乙烯(PTFE)的高温稳定性,还可抵抗1600多种化学品的腐蚀，而其优异弹性性能有助于保持密封的可靠性，减少维修次数并提高安全性。

二：工作特点

1.优异的抗化学性及耐受高温；

2.具有合成橡胶的特有弹性，洁净度和持久密封力；

3.突出的的物理机械性能提高了服务寿命；

4.密封沟槽简单。

三：材料及工作条件

        重要提示：温度、压力、速度极限值不能同时使用。

一、全氟醚橡胶的性能特点

全氟醚橡胶主要有四氟乙烯、全氟烷基乙烯基醚为主要单体，与少量带硫化点的第三单体共聚而成，如下图所示，聚合物中所有碳原子上的氢原子全被氟原子所取代，是一种完全不含有C-H键的橡胶。

图  全氟醚橡胶分子结构

全氟醚橡胶分子结构中的氟含量、全氟化的乙烯基醚的结构和含量及硫化过程中交联键的键能和数量决定了硫化胶料的性能和玻璃化转变温度，因此各品牌的全氟醚橡胶由于其单体的分子结构和组分有所差异，其性能也有一定的区别。

全氟醚橡胶的主要性能特点：

1）物理性能

全氟醚橡胶密度为1.9-2.0g/cm³，物理机械性能与氟橡胶接近，耐高温压缩永久变形性能优于氟橡胶。

2）耐化学药品性

大分子连上没有氢原子，表现出强的惰性，F原子半径比取代前的H原子大很多，大分子链在排列时呈螺旋状，C-C键基本被F原子组成的外壳所包围，使聚合物具有显著的耐化学药品性。

一些橡胶材料的耐溶剂性

注：

A表示10%以下的溶胀（包括不溶胀），介质对橡胶性能影响不明显；

B表示体积溶胀率10~20%，材料的性能受到一定程度的影响，但基本可用，只是产品寿命可能会缩短；

C表示材料对该介质的耐受性较差，要根据实际情况分析是否可用；

D表示该材料不能用于该介质环境。

类似于聚四氟乙烯，全氟醚橡胶除某些高氟碳溶剂外，不受任何介质影响，可耐强酸、强碱、有机溶剂、超高温蒸汽、醚类、酮类、酯类、含氮化合物、碳化氢类、醇类、醛类、呋喃、胺基化合物等1600多种化学溶剂的腐蚀。

3）耐高低温

全氟醚橡胶的使用温度一般为260~290℃，可间歇性的用于316℃的高温。由于分子支链上引入了少量的-OF3链节，支链的不规则排列改善了分子的柔顺性，使橡胶的耐低温性提高。一些品牌的全氟醚橡胶Tg达-19℃。

4）耐高温蒸汽性

5）低释放性和析出性

6）耐等离子体性

对于在等离子环境中，表现出高洁净低析出的产品特性，可长时间承受等离子体撞击。

全氟醚橡胶于1968年首次被美国杜邦公司研发成功，并在1975年以Kalrez®作为商品名投入商业化应用。目前相关材料企业有杜邦、3M、索尔维、大金氟化工、AGC等。

二、全氟醚橡胶的半导体应用

在半导体制造中，弹性体密封垫的可靠性非常关键，停产更换密封垫代价极高，为了避免出现潜在的风险，对密封件的清洁度和纯净度的要求都非常严格，同时密封件必须能够在高真空度及侵蚀性化学气体的压力作用下及高温环境中长期工作。

全氟醚橡胶原材料成本高昂，通常用于其他橡胶无法满足的苛刻密封要求，如半导体制造。全氟醚橡胶耐等离子体腐蚀、气体腐蚀、酸碱腐蚀、高温腐蚀、橡胶密封高洁净度要求，有助于保持密封的完整性，减少维修次数并提高安全性，是半导体制造的最佳密封材料。

全氟密封圈主要半导体应用

四：沟槽设计

和其它的弹性体O形圈类似，相同的设计规则也适用于全氟醚O形圈。

五：安装

安装之前，对沟槽及部件清洁，确保无毛刺、杂质，有螺纹的地方进行覆盖，密封件和部件涂润滑脂或润滑油，使用手工或无锐边的工具进行正确定位安装，确保Ｏ形圈不扭曲，切忌过度拉伸O形圈。

六：参考设计标准

  　沟槽及产品尺寸、公差等符合ISO 3601-1/AS 568、其中公差符合ISO 3601-1,B级标准。其它参考如美国AS-568、日本JIS B2401、 中国GB/T3452.1-2005、GB/T3452.3-2005标准。

七：应用场合

全氟醚O形圈被广泛应用于半导体、化学工业、石油天然气、航空航天、医疗食品等工业的化学腐蚀和耐温等工况要求苛刻的环境中。

八：订货示例